1. 소형 Throttle Valve
2. 중형 Throttle Valve
3. 대형 Throttle Valve
4. Pressure Controller
(Auto Tuning)
1. 주로 Cryo Pump Regenaration용으로 많이 사용
60L/Min 에 75도를 기본 값으로 세팅
2. Gas 용량 및 온도에 따라 주문제작 가능
3. Gas 증착을 방지하기 위해 N2 Hot Gas가 필요한 곳에 장착
1. Relief Valve
0.2 PSIG , 1.0 PSIG , 2.7 PSIG 오차범위 : 10%
2. Rectangula Gate Valve
2" , 3" 전제품 및 대형 Size 제작 가능
1. Dry Pump 중고판매 및 Overhaul
에바라(주력),에드워드,알카텔 기타..
2. Cryo Pump 중고판매 및 Overhaul
제너시스,CTI,ULVAC, 기타...
1. MKS651C Controller중고
2. Baratron Gauge중고
3. MKS Throttle Valve
653B NW50 중고
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